早期的过程开发. 先进光刻. 收益管理.

硅工程是一代又一代芯片和电子创新的基础. 基于行业标准, 新濠天地网站的硅工程工具在已建立和新兴工艺节点的3nm及以下都经过了生产验证. 新濠天地网站的工具优化了速度、面积、功率、测试和产量之间的权衡.

行业领先的TCAD工具,用于过程和设备模拟

  • 开发和优化半导体加工技术和器件
  • 在开发过程中进行模拟分步运行,以减少昂贵、耗时的测试晶圆运行
    一个新的设备
  • 探索工艺参数空间和产品设计方案
  • 利用互连建模和提取工具获得的寄生信息优化芯片性能

CATS®软件用于卓越的掩模制造

  • 将复杂的设计数据转换成机器可读的指令,用于模式生成
    和制造业
  • 依靠业界最高的性能解决方案来进行屏蔽规则检查和模式匹配
  • 通过精确和详尽的验证,达到口罩质量和成本目标
  • 利用核心技术,独特地将制造信息与设计联系起来

用于高级光刻掩模合成的Proteus™OPC

  • 执行全芯片光学接近校正,反光刻技术和加工
    检查和分析
  • 增强模式保真度,最大化过程窗口
  • 在将设计投入生产之前,识别传统工艺的失败
  • 在制造环境中利用严格的Sentaurus™模拟参考流程

 收益管理和优化的行业标准

  • 使用Yield Explorer®工具,将来自不同来源的与收益率相关的数据导入单个数据库
  • 使用Odyssey缺陷数据管理快速识别影响产量的工具和过程
  • 使产品/设计团队和FA实验室与Avalon的合作更加紧密
  • 使用YieldManager®工具,通过统一的数据库实现完整的晶圆厂解决方案

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